無油真空泵又稱干泵，這種泵無任何工作液。因此能保證被抽空間清潔，對周圍環境沒有污染，有人稱之為“綠色”真空泵。

使用它可以提高產品質量。例如，顯像管內無油污染能保證陰極發射穩定，圖像清晰，使用壽命長；鍍膜室內無油，能提高膜層性能，增加膜層牢固度等。因此無油機械真空泵適用于真空電子行業。

本文所介紹的無油真空泵均指直排大氣的泵。所謂無油是指在泵腔內不使用油類和液體，而傳動的齒輪和軸承還需要油類潤滑，只是油蒸氣不允許進入泵的吸氣口。

無油真空泵的種類很多，按泵的結構，可分成接觸式和非接觸式兩大類。

接觸式是指泵的運動件與靜止件之間有接觸、摩擦，如旋片泵、活塞泵等，其最大壓縮比隨壓力大小無大幅度變化，在接近大氣壓時比非接觸式壓縮比大。

非接觸式是指泵的兩運動件之間或運動件與靜止件之間沒有任何接觸，轉子需要高速旋轉，如羅茨泵、爪型泵、螺旋型泵等，其最大壓縮比隨壓力變化而變化，接近大氣壓狀態時，壓縮比很小，因此需要多級組合抽氣。

比較科學的方法應該是按泵的工作原理劃分泵的種類，通常可分成容積型和動量傳輸型兩大類，每一類里還包括幾種不同形式的泵。